Che materiali i semiconduttori sono fatti? Molibdeno che farfuglia gli obiettivi per i semiconduttori
Oggi, farfugliando gli obiettivi sono utilizzati in un'ampia varietà di applicazioni che variano dall'industria a semiconduttore al deposito del film sottile di vari materiali nell'elaborazione del circuito integrato. Farfugliare è una tecnica stabilita per il deposito dei film sottili di vari materiali sui substrati di varie forme e dimensioni. Per ottenere le proprietà desiderate dentro farfugli i film depositati, i materiali di montaggio ed i processi usati per fabbricare per farfugliare l'obiettivo sono critici. Sotto diamo un'occhiata a molibdeno che farfugliamo gli obiettivi per i semiconduttori.
Oltre agli obiettivi puri del metallo quali tungsteno, molibdeno, niobio, titanio e silicio, ci sono inoltre obiettivi della lega quali tungsteno, molibdeno, titanio, silicio e tantalio come pure composti quali gli ossidi o i nitruri. Il processo di determinazione del materiale è importante quanto i parametri di esercizio del deposito che ingegneri e scienziati perfetti durante il processo di rivestimento.
Rispetto ad altri metodi del deposito, il film farfugliato ha migliore adesione sul substrato ed i materiali con i punti estremamente ad elevato punto di fusione quali molibdeno e tungsteno inoltre sono farfugliati facilmente. Inoltre, farfugliare può essere fatto dall'alto al basso, mentre l'evaporazione può essere fatta soltanto dal fondo per completare.
Farfugliando gli obiettivi sono in genere rotondi o rettangolari, ma altre forme sono inoltre disponibili, compreso le progettazioni quadrate e triangolari. Il substrato è l'oggetto da ricoprire, che può comprendere i wafer a semiconduttore, le pile solari, gli elementi ottici o molte altre possibilità. Lo spessore del rivestimento è tipicamente nell'ordine degli angstrom ai micron. La membrana può essere un singolo materiale o i materiali multipli in una struttura a più strati.
Come metallo refrattario con una vasta gamma di usi, il molibdeno ha le proprietà meccaniche eccellenti, l'espansione bassa, l'alta conducibilità termica e conduttività elettrica estremamente alta alle temperature elevate. Come obiettivo farfugliare, ci sono varie combinazioni, quale l'obiettivo puro del molibdeno, obiettivo di titanio del molibdeno, l'obiettivo del tantalio del molibdeno, obiettivo della lega del molibdeno (quale il piatto di TZM).
Il molibdeno che farfuglia l'obiettivo ha le caratteristiche di elevata purezza, di alta densità, dell'indennità e dei grani uniformi, in modo da ottenere l'efficienza estremamente alta farfugliare, lo spessore di film uniforme e la superficie d'incisione regolare durante il processo farfugliare.