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RO5200 Ta1 bersaglio rotante di tantallo bersaglio tubo di tantallo 100 mm per PVD CVD

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xNome | Obiettivo di rotazione del tantallo | Grado | RO5200,RO5400,RO5252,RO5255,Ta1,Ta2 |
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Densità | 160,68 g/cm3 | Peso atomico | 180.94788 |
Metodo di sputtering | DC | Conduttività termica | 57 W/m.K |
Evidenziare | Obiettivo di rotazione del tantallo CVD,Obiettivo di tantallo Ta1,Tubo di tantallo bersaglio 100 mm |
Informazioni sul prodotto:
Il bersaglio del tubo di tantalio è un bersaglio di tantalio tubulare, noto anche come bersaglio rotante di tantalio.
Nome | Obiettivo di rotazione del tantallo Obiettivo del tubo di tantallo |
Purezza | ≥ 99,95% |
Grado | RO5200,RO5400,RO5252,RO5255,Ta1,Ta2 |
Densità | 160,68 g/cm3 |
Peso atomico | 180.94788 |
Metodo di sputtering | DC |
Conduttività termica | 57 W/m.K |
Coefficiente di espansione termica | 6.3 x 10-6 /K |
Dimensione | OD: 20~300 mm Spessore della parete: ≥ 0,5 mm |
Applicazione dell'obiettivo di rotazione Ta:
L'obiettivo del tubo di tantalio è una materia prima di tantalio ad alta purezza per la deposizione di sputter, che può essere utilizzata nei semiconduttori,Display e applicazioni ottiche per la deposizione chimica di vapore (CVD) e la deposizione fisica di vapore (PVD)I dettagli sono i seguenti:
- per semiconduttori;
Display di deposizione chimica dei vapori (CVD);
Display di deposizione fisica dei vapori (PVD);
- Applicazioni ottiche.
Nota:Forniamo servizi personalizzati. Se non riesci a trovare il target che desideri, contattaci direttamente. Possiamo personalizzare in base alle tue esigenze.